半导体制造装置用陶瓷

高性能的精细陶瓷给半导体制造带来了变革。

概要

精细陶瓷和金属、塑料相比,具有更卓越的强度、抗腐蚀性和耐热性等特性,是具有独特魅力的一种材料。

日本碍子充分利用该特点,将其应用到各个产业中。其中陶瓷加热器和静电吸盘等都为半导体制造过程带来了巨大的变革,也发现出精细陶瓷具有的无线可能性。

特点

半导体制造中必不可少的就是化学气相沉积(CVD)和刻蚀的环节。在这些环节中使用的制造设备需要具备保护硅晶圆,加热温度均衡,且不易被二氧化碳和等离子腐蚀等要求。日本碍子在满足这些要求的基础上,以氮化铝(AIN)陶瓷为主,发挥材料的特性,将半导体制造设备上需要使用的静电吸盘、加热器、各种零部件产品化。

产品介绍

陶瓷加热器 采用高导热的氮化铝AIN,通过抵抗发热体整体烧结,是产品具有卓越的均热性。大幅降低金属污染杂质的产生。
静电吸盘 发挥其高强度、高导热性、耐高温抗冲击力的性能。凭借日本碍子独有的体积电阻控制技术产品可运用在更为广泛的温度带。

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